ALICAT 23系列带集成截止阀气体质量流量控制器

时间:2011-08-31 16:28:49 点击:

   Alicat的23系列质量流量控制器是根据真空涂层和喷溅过程中所要求快速关闭功能而设计的。一个启动截止阀是常闭的,并且保证一个大气压下氦气最大泄露为1 x 10-9下有效的关闭。
23系列质量流量控制器采用的是与其他alicat产品一样的层流差压式专利技术。在速度和精度需要计算时,23系列所体现的完美的精度和响应时间。Alicat 的23系列可以在响应时间
50-100ms的条件下控制从0.5sccm的小流量到20slpm的大流量-响应时间可以大大的改良你的最终产品,并且帮助排除误差。
每个23系列都是预先设定的30种校准气体和显示质量流量、
体积流量、绝压和温度。Alicat23系列也可以直接通过设备的按键或者RS-232来编程设定,使用RS-232可以通过一对线串联最多26台设备。 23系列供电电压为12-30Vdc,单一输入
和输出暴漏0-5Vdc0-10Vdc4-20mARS-232(可选PROFIBUS

特点和优点

  • 响应时间50-100ms
  • 量程 0.5sccm-20slpm
  •   模拟和数字通信(可选PROFIBUS
  • 30种预设定校准气体
  •  精度±0.8% 的读数±0.2% 满刻度
  •   可选高精度±0.4% 的读数±0.2% 满刻度
  •   操作量程1%-100%
  • 数字显示质量流量、体积流量绝压和温
  • 无预热时间
  •  小巧设计,方便替换其他设备
  •  保证标准大气压下氦气最大泄露1 x 10-9的气动截止阀
  •   终身维修

MCV质量流量控制器技术参数

性能

23系列质量流量控制器

描述

精度

±0.8% 的读数±0.2% 满刻度

在没有流量条件下校准

高精度选项

±0.4% 的读数±0.2% 满刻度

在没有流量条件下校准

重复性

±0.2%

满量程

操作量程

1%-100%的满量程

测量和控制

响应时间

100

毫秒(可调)

标准状态(STP

25°&14.696PSIA

仅测量质量流量用

操作温度

-1050

零点漂移

0.02

满量程//Atm

量程漂移

0.02

满量程//Atm

湿度范围

0-100%

无冷凝

控制流量范围

102.4%

满量程

最大耐压

145

PSIG

输入/输出数字信号

质量流量、体积流量、绝压和温度

RS-232PROFIBUS

输入/输出模拟信号

质量流量

0-5VDC

可选输入/输出

第二路模拟

质量流量、体积流量、绝压或温度

0-5VDC,0-10VD4-20mA

电气连接

8针或者DB-15

 

供电电压:质量流量计

12-30Vdc15-30Vdc或者4-20mA输出)

 

供电电流:质量流量计

0.300Amp

 

安装位置敏感度

 

预热时间

1

阀泄漏率

1 x 10, -9标准大气压sccm/s 氦气最大

 

接液材质

316L不锈钢;FFKM(Kalrez)标准; Viton®EDPMBuna一些气体所需的氯丁橡胶;质量流量控制器还附加303不锈钢,430不锈钢

1、  高精度选项不包括量程低于5sccm

2、  如果选择PROFIBUS通信,则没有模拟信号可选。PROFIBUS的设备不带显示,看PROFIBUS性能所需的供电电压和电流

3、  如您需要特殊材质,请联系Alicat公司咨询

机械性能

满刻度23系列控制器

机械尺寸

过程连接

0.5SCCM -20SLPM

4.992H x 6.710W x 1.50D

1/4 VCR 外螺纹

推荐使用焊接VCR配件(过程连接),请参考42

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